Analisador UPW Sievers Boro Ultra Online

Monitoramento contínuo e on-line do boro até níveis de partes únicas por trilhão (ppt)

À medida que os chips semicondutores encolhem e se tornam mais complexos, a demanda por água ultrapura (UPW) de alta qualidade é crítica. Mesmo a menor contaminação pode causar defeitos significativos, tornando a detecção precoce de impurezas essencial na fabricação de microeletrônicos.

O que está em risco? Rendimento do produto, processos downstream e custos desnecessários.

O analisador Sievers Boron Ultra fornece monitoramento on-line contínuo e autônomo das concentrações de boro em processos UPW com sensibilidade de partes por trilhão (ppt). Isso oferece suporte à conformidade com as especificações de ciclo primário e de polimento e permite que os fabricantes otimizem o tempo de regeneração do leito de resina de troca iônica (IX). O monitoramento de boro é a estratégia mais proativa de controle do processo IX e é muito superior ao monitoramento de sílica ou de contaminação iônica.

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Desempenho On-line e Otimização do Processo

O analisador Sievers Boron Ultra pode reduzir significativamente as despesas operacionais e manter a qualidade nos sistemas UPW.

O Boron Ultra detecta um aumento no boro antes da liberação de sílica, tornando-o uma ferramenta crítica para evitar o vazamento de sílica coloidal e iônica em água ultrapura. Ele é usado para prever a exaustão da resina IX de leito misto, otimizar o desempenho da eletrodeionização (EDI) e controlar os níveis de contaminação do ciclo primário e de polimento.

O Boron Ultra suporta o limite de boro de 50 ppt do International Roadmap for Devices and Systems (IRDS) em semicondutor UPW, auxiliando o controle de contaminação por boro e sílica.

O Sievers Boron Ultra foi projetado em cooperação com fabricantes de semicondutores para atender às necessidades de gerentes de instalações, proprietários de sistemas UPW e engenheiros de controle de processo UPW. O monitoramento de boro é a estratégia mais proativa de controle de processo de troca iônica e é muito superior ao monitoramento de sílica ou contaminação iônica.

Sensibilidade de partes por trilhão (ppt)
20 pontos de dados por hora
Conformidade com as especificações primárias e de malha de polimento
Otimização da regeneração de resina de troca iônica
Controle de contaminação por sílica e boro

Características e benefícios
Especificações

Características e benefícios

Características e benefícios do Boron Ultra

Monitoramento contínuo e on-line até partes únicas por trilhão (ppt) de boro
20 pontos de dados por hora
Conformidade com as especificações primárias e de malha de polimento
Atende a todos os requisitos para UKCA e marcação CE
Opções de vários fluxos - disponíveis em One-Stream e Two-Stream
GUI moderna e intuitiva com retroiluminação LED multicolorida, tela sensível ao toque de 10,1"
Amplo conjunto de saídas - duas saídas analógicas isoladas de 4-20 mA; duas saídas de alarme; duas saídas binárias isoladas; duas portas USB 2.0; e uma porta Gigabit Ethernet
Manutenção mínima e consumíveis

Aplicações - Água de processo ultrapura para semicondutores e microeletrônicos / UPW

Controle de contaminação
Conformidade
Otimização da regeneração de resinas
Controle de processos

Especificações

Boron Ultra Especificações

Especificações operacionais
Faixa	0,010 - 100 ppb B
Limite de Quantificação (LOQ)	0.030 ppb B
Limite de detecção (LOD)	0.010 ppb B
Exatidão	± 0.01 ppb B <0.03 ppb B ± 15%, ≥ 0,03 ppb B
Precisão	DP ≤ 0.003 ppb B, ≤ 0.100 ppb B RSD ≤ 3%, > 0.100 ppb B
Amostra mínima Resistividade	15 MΩ–cm
Temperatura da amostra	15°-40°C (59-104°F)
Vazão de amostra	50-400 mL/min
Pressão da amostra	103-689 kPa (15-100 psig)
Estabilidade de calibração	Geralmente 12 meses
Partículas de amostra	Pré-filtragem de 15 mícrons
Resíduos	Dreno por gravidade (sem contrapressão), ventilado
Modos de análises	On-line, em média e on-line cronometrado
Tempo de análise¹	3 minutos ou 6 minutos
Especificações do analisador
Requerimentos de energia	100-240 VCA, 40 W⁴, 50/60 Hz
Certificações de segurança	Listado CE, UKCA, ETL. Em conformidade com UL Std. 61010-1. Certificado para CSA 22.2 No. 61010-1.
Tela	Retroiluminação de LED, 10,1 polegadas, 1280 x 800 Visor com tela sensível ao toque
Classificação de IP	IP 45
Entradas	3 entradas binárias isoladas
Saídas	2 saídas analógicas isoladas de 4-20 mA⁵; 2 Saídas de alarme; 2 Saídas Binárias isoladas; 2 portas USB 2.0⁶ (uma externa, uma interna); Porta Ethernet 1 Gigabit;
Protocolos de Comunicação	Modbus TCP/IP
Sobretensão transitória	Instalação (Sobretensão) Categoria II (Instrumento Poluição Ambiental Grau 2 assumido para fins de teste e julgamento da integridade do isolamento)
Dimensões	54,2 A x 59,3 L x 38,8 P cm (21,35 A x 23,35 L x 15,27 P pol)
Peso	Vazio: 21,75 kg (48 lb); Com consumíveis: 23,1 kg (51 lb)
Folgas mínimas (para temperatura, controle de umidade e acesso)	Frente: 48,3 cm (19 pol.); Traseira 2,5cm (1 pol); Lados: 30,5 cm (12 pol) de cada lado; Topo: 30,5 cm (12 pol.); Parte inferior: os suportes do analisador fornecem folga da área de trabalho.
Configurações disponíveis	One-stream ou two-stream (opcional)
Temperatura ambiente	10-40 °C (50-104 °F)
Altitude	Projetado para uso em altitudes de até 2000 m (6561 pés)
Umidade relativa máxima	Até 95%, sem condensação
Consumíveis
Reagente de boro	45 dias a 3 minutos de amostragem⁸; 90 dias a 6 minutos de amostragem⁸
Coluna de reagente	12 meses
Coluna zero	12 meses
Cabeçote peristáltico da bomba	12 meses

Instrumentos Sievers para aplicações microeletrônicas

O portfólio de instrumentos Sievers oferece soluções analíticas para cada etapa do processo de fabricação microeletrônica para proteger ativos e garantir o controle do processo. Os analisadores de COT e boro Sievers são usados para UPW, controle de processo, recuperação e monitoramento de tratamento de efluentes."

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Otimize o monitoramento do processo de troca iônica usando a análise on-line de boro

A gestão eficiente da resina requer métricas definidas e mensuráveis para determinar o desempenho do leito. A abordagem baseada no tempo não ajuda. Somente o monitoramento contínuo e on-line do boro pode fornecer o mesmo nível de proteção, maximizando a eficiência do processo e minimizando os custos operacionais.